Key Features and Options

  • 刻写最大面积1600 x 1400 mm2
  • 刻写最小结构尺寸 1 微米
  • 最小分辨距离 50 nm
  • 多种曝光模式
  • 自动更换写头
  • 测量及校准系统
  • 带温度控制的机壳
  • 在线图形数据传输
  • 自动上板系统
  • 支持多种客户图形格式 (DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL)
  • 平台坐标矩阵校正
  • 寻边侦测系统
  • MURA矫正

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VPG 1600 - The Ultimate High Volume Photomask Production Tool

VPG 1600

产品发展和科技创新都具有里程碑式意义的大型设备

Pattern

基于巨量平行曝光进程的专利技术, 海德堡仪器制造的这款新型高产能大面积的掩膜印刷系统在技术创新及产品发展都具有里程碑意义.

对于如今象集成电子，彩色滤片以及其他对大面积尺寸有高图象质量高位置精度高分辨率要求的应用方面,VPG绝对是一款高产出可靠性强且经济的最佳选择.

VPG支持不同维数的平台系统并且能够自动切换不同的刻写模式(Automatic Write Mode)，从而能够在最大范围内满足不同应用上对产能及分辨率的需求.

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