高精度大面积的2D,3D微观图形绘刻
DWL 8000系列是专门为高精度大面积的掩模板光刻机,它可以应用在微型光路,MEMS,显示和传感技术方面。我们将多年来在小型设备上的灰阶技术经验成功引进到DWL 8000这种大型设备中来。
该技术将灰阶光掩膜从处理程序中移除, 从而大大降低成本并极大的提高交货期,更重要的是,灰阶曝光的各个参数可以更方便快捷的被定义,在板材蚀刻后,3D效果可以用其他金属介质复制,在蚀刻或者镀镍后,塑模。
除了它出众的3D绘刻能力外,DWL 8000 可以应用在2D方面批量生产掩模板方面。
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