Key Features and Options

  • 刻写最大面积100 x 100 mm2
  • 刻写最小尺寸结构1um
  • 最小分辨距离 40 nm
  • 向量式曝光及光栅式曝光模式
  • 3D 曝光模式
  • 可采用标准或者紫外激光光源
  • 支持多种图形格式 (DXF, CIF, BMP)
  • CCD成像坐标校准系统
  • 软件开发包

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µPG 101- The Tabletop Laser Pattern Generator

µPG 101

简易快速型激光直写设备

Pattern

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μPG 101是一款非常经济，方便使用的细微图形刻画激光直写掩膜板制造设备，它简单的就像一台250000DPI分辨率的桌面打印机一样：只需要设计好图形文件然后按下打印按钮。设备可应用于 MEMS, BioMEMS，集成光路, 微流体应用以及其他需要高精度高分辨率的微观结构应用领域。

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