Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
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德商海德堡激光技术（深圳）有限公司
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Stage System
平台系统的作用是托住基板并且曝光过程中在x-y轴运动。平台系统主要包括：驱动部分，卡盘和干涉仪系统。根据系统型号驱动系统采用线性马达或者直流马达驱动，驱动平台在x-y轴移动，同时卡盘夹住基板并用真空吸牢保持其位置不变。在曝光过程中平台的位置坐标有精度达到10nm的干涉仪实时测控。通过这种方法，在曝光过程中存在的任何位置误差偏移量，通过光学系统实时地矫正光束来进行补偿。
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| DWL66FS Stage | DWL 4000 Stage |
发展形成一种新的平台系统可以为我们更大的机型系统提供更优越的稳定性能。这一新的概念依赖于气浮式轴承和线性马达实现平台更平稳的移动，减少平台运动过程中可能存在的震动和运动方向轨迹的扭曲变形。使在大面积的掩膜版上生产的图形保持高的质量和一致性成为可能。