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德商海德堡激光技术（深圳）有限公司
广东省深圳市南山区粤海路5号，

深圳动漫园一栋101
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Optical Components

光学元件及其设置是海德堡仪器印刷系统性能的关键组成，它决定了不同系统的精度和生产量。我们的设备根据安装的激光选用合适的光学元件和使用大量的现成标准设备，这样当新的元件和技术出现时很容易地更新到原有的系统。

光学设备中包括拥有2个照相机的测量和校正系统，可以用来执行各种测量任务，也可以根据基本的图形结构校正新的曝光任务。放大倍率小的照相机拥有大的视场，可以用来寻找基板上的图案。放大倍率大的照相机可以用来执行更高精度的测量和校正。

系统使用光栅扫描技术来曝光图象，无论是二进制图形还是三维结构图形都应对自如。.

光学部件的设计有以下优点 :

  • 所有光学元件保持固定，从而保证高的曝光质量

  • 根据使用的激光波长优化光学系统。
  • 光学透镜镀上增透膜以减少光的反射增加透射率。
  • 反射镜镀上介质膜以减少激光能量的损耗。

我们的系统多数使用声光调节器和偏转器来控制激光的能量和光束扫描。以下图片介绍曝光过程的原理。AOM元件调节激光束的能量，而AOD元件则使入射激光束发生偏转，形成高速扫描光束垂直入射到移动到基板上。这种方法使光束像有宽度的条纹一样曝光在基板上。通过将多数扫描光束接合在一起则整个曝光图形曝光在基板上。

Writing Strategy
直写方式

在我们的更大系统机型里增加更复杂的光学设备，可以在更短的时间里增加生产量和生产更大的掩模版。同时，我们的系统提供多种刻写模式，通过修改光学器件的设置可以提供不同的精度和刻写速度。客户根据个人的曝光需要很容易地切换这些模式来优化曝光质量。

对于更高的生产输出量我们已经发展一套新的已取得专利的曝光技术，该种技术已经在我们新的VPG线性印刷系统中得到实现。这套系统的光学调节器和偏转器被一特殊的光器件取代，该器件能够平行地一次性处理更多的象素。这种新的光学设备能够使系统高质量地完成巨大的生产任务。