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德商海德堡激光技术(深圳)有限公司
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Autofocus System

为了达到微米级甚至更高的精度,系统需要将激光非常好的聚焦在平面上,由于这些透镜本身的焦深非常有限,所以为了达到最佳的曝光效果,保证镜头到平面的距离为恒定值就变的非常关键。甚至焦距方面一个非常小的变化都会明显的影响曝光效果。

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专用直写镜头

为了确保高质量的曝光精度,我们把透镜安装在了一个我们称之为专用镜头的一个系统结构中去,这个专用镜头集成了自动聚焦系统使得在整个曝光过程中,焦距始终保持不变,这个系统包括了一个气压计,可以感应距离的变化程度,经过我们的发展 这个特殊的系统 不但可以兼容一些表面平整度不是很好的板,而且可以保证长时间曝光的聚焦质量。