Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
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德商海德堡激光技术（深圳）有限公司
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Gray Scale Lithography
通过应用灰度值平版印刷可以在厚光刻胶上刻划高质量的3维结构图形。最快和最容易的方法是用一套非掩膜激光平版印刷系统，它用一束可以调节激光能量的光束直接在光刻胶上刻划。
可以通过甩胶或者溅射的方法把光刻胶粘附在基板上，厚度可以达到几百微米的胶厚，但是最常用的胶厚少于50微米就符合使用要求。激光平版系统可以将电子设计图形通过不同的能量刻写在光刻胶，显影处理后图形保留在基板上。
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| 灰阶制程 |
最后的结果依赖电子图形的数据，激光刻写质量和显影整个过程的情况，只有这些步骤都互相配合好才能得到最好的结果。整个处理过程不需要调灰度掩膜版，因此产品显影变得经济性，高效率。
灰度平版印刷技术应用于广泛领域，其中最主要的应用于微米级光学元件，例如微米光学透镜、衍射元件、氢化物类元件。光刻胶上的光学结构可以连续的转移到基板上，或者通过一位熟悉大规模生产的操作员工运用电镀的方法获得光刻胶上的光学产品。
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| 镜片 | 镜片 | 光栅 |
海德堡仪器是灰度激光平版印刷技术的世界领导者。我们不仅仅精于生产这些应用系统，我们同时拥有应用这些技术的经验，可以帮助客户实现他们的目标。