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德商海德堡激光技术（深圳）有限公司
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Laser Lithography

目前，仅有少数几种方法可以从电子设置文件直接生产高质量的微米级结构图形。最常见的有，图形发生器、电子束、非掩膜激光平版生产技术。几乎落后淘汰的图形发生器是使用一套可编程的光圈和闪光灯，只能生产一些简单的微米结构图形。在今天看来已经变得普通常见的细小而复杂的设计，使用光栅扫描技术的激光平版生产系统能够提供比图形发生器更高的质量和生产能力。该系统使用聚焦的激光束可以在任何材料上刻写最小尺寸达到500纳米的几何图形。该系统是目前应用最广泛的系统，适合掩膜版或者直接刻写在材料上的生产和研究应用。对于小于500纳米的图形结构，最常用的方法是使用电子束生产，电子束生产方式能够提供更高的精度和质量但是生产的速度很慢同时花费也很昂贵。

短时间生产高质量精度在500纳米内的微米结构图形，非掩膜激光平版技术是最佳的选择。它可以忽略生产掩模版过程的转换时间，同时很容易快速地与圆形设计适应。

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